Пономарев, А.Г.; Ребров, В.А.; Колинько, С.В.
(Наука та інновації, 2019)
Введение. Поверхностные микро- и наноструктуры находят свое применение в различных физических приложениях, таких как рентгеновская оптика, фотоника, микроэлектромеханические системы, метаматериалы и др.
Проблематика. ...